无尘室是在工业生产、生物研究或医学方面,对室内洁净度、温湿度、压力、噪音、照明等等方面都严格控制的空间。而落尘量就是指空气中飘游的微尘粒子量的多少。就如同降水量,是指降水的多少一样。落尘量是测试无尘车间洁净度的。
下面以业内俗称的1K级为例来对落尘量这个概念做以解释说明:
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级。
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