净化工程专题
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电子光学无尘车间

 

洁净室简介:
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

 

电子无尘车间1

 

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

 

控管项目

1、能除去空气中飘游之微尘粒子。
2、能防止微尘粒子之产生。
3、温度和湿度之控制。
4、压力之调节。
5、有害气体之排除。
6、结构物与隔间之气密性。
7、静电之防制。
8、电磁干扰预防。
9、安全因素之考虑。
10、节能之考量。

电子无尘车间

 

无锡一净优势:

光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司较早的认识到这一点,并早早的拥有一支专业的、责任心强、技术过硬的高质量施工团队,专业的工程师吸纳了国外优秀的净化工程规划设计理念及工程品质控制技术,并在工程实践中不断积累和创新,不仅掌握了尖端的洁净工艺技术、全新的设计理念,并且具备了规范高效的工程施工管理手段。

 

电子无尘车间3

 

电子光学无尘车间 

   电子光学(半导体、PCB、芯片、晶片、摄像头、光学镜片、LCD、OLED、液晶、显器件FED、多晶硅等)的生产对车间环境要求很严,制造工序不同,部分区域的洁净度要求也不同,通常以十级、百级、千级、万级、十万级为标准。而每一个区域环境,如温度、湿度,洁净室工艺方面也要考虑照明、抗静电、抗威震、废弃废水、大宗气体和特殊气体的排放等,同样有规范标准,这些环境参数关系到产品的合格率和使用寿命,因此超洁净车间才能赋予产品品质上的首要保障。

 

洁净室重要性:
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

 

电子无尘车间2

 

光学微电子净化工程结构材料:
1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

 

电子无尘车间

 

电子无尘车间净化参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次;
压差:主车间对相邻房间≥5Pa;
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃;
湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电;
噪声≤65dB(A);
新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。

 

净化车间隔墙钢化玻璃观察窗示意图

电子无尘车间

钢化玻璃净化观察窗,大小为2400W*1200H,窗户离地高度为1.2米

 

设计方案:
光学微电子行业净化工程设计方案分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。

 

内部细节展示

 

无菌操作室注意事项:
1.安全注意事项 严格无菌操作,防止微生物污染;操作人员进入无菌室应先关掉紫外灯。
2.无菌室应设有无菌操作间和缓冲间,无菌操作间洁净度应达到10000级,室内温度保持在20-24℃,湿度保持在45-60%。超净台洁净度应达到100级。
3.无菌室应保持清洁,严禁堆放杂物,以防污染。严防一切灭菌器材和培养基污染,已污染者应停止使用。
4.无菌室应定期用适宜的消毒液灭菌清洁,以保证无菌室的洁净度符合要求。
5.需要带入无菌室使用的仪器,器械,平皿等一切物品,均应包扎严密,并应经过适宜的方法灭菌。
6.工作人员进入无菌室前,必须用肥皂或消毒液洗手消毒,然后在缓冲间更换专用工作服,鞋,帽子,口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦拭双手),方可进入无菌室进行操作。
7.无菌室使用前必须打开无菌室的紫外灯辐照灭菌30分钟以上,并且同时打开超净台进行吹风。操作完毕,应及时清理无菌室,再用紫外灯辐照灭菌20分钟。
8.供试品在检查前,应保持外包装完整,不得开启,以防污染。检查前,用70%的酒精棉球消毒外表面。
9.凡带有活菌的物品,必须经消毒后,才能在水龙头下冲洗,严禁污染下水道。

 


 

 

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