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十万级净化车间技术和设备的发展应用

更新时间:2012.11.01   来源:净化车间   浏览次数:

净化车间洁净技术又称为生产环境和污染控制技术,是近二、三十年来随着净化工程 技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术。洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质,有效地控制微量杂质,以保证高科技产品的成品率和可靠性。洁净技术通常包括:空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。

对于半导体设备来讲,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国 “九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

随着我国人民生活水平提高,人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求,用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎,净化工程技术已开始进入千家万户,进入人们的现代生活。
我国的洁净技术和洁净设备与国外先进国家相比差距是明显的,我国1965年才开始生产的HEPA过滤器,比国外晚了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0.1微米洁净技术和设备在国际上先进国家已成为成熟技术,我国则刚刚起步。

洁净技术和装备的国际市场十分巨大,日本到80年代末、90年代初洁净技术和净化设备的销售额已突破35亿美元。美国和西欧等先进国家洁净设备和基础部件的销售额已达73亿美元。据中国电子专用设备工业协会统计,我国主要八家最大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元,还不足1亿,1993年达到 14495万元,占国际市场销售额的0.34%。但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展,我国潜在的巨大的洁净技术产品市场,以每年40%~50%的增长速度在增加。
→加湿器→第二道中效过滤器→高效过滤器→洁净室
空气净化技术原理:
无菌室内空气的流动一般有两种情况:
第一种是:层流,所谓层流是指室内一切悬浮粒子都保持在层流层中活动;
第二种是非层流,及室内空气的流动时紊流的。装有一般空调系统的洁净室,室内空气的流动是属于非层流,既可使空气中夹带的混悬浮粒子迅速混合,也可使室内静止的微粒重新飞扬,部分空气还可以出现停滞状态。
而层流洁净室就不同,它有以下特点:
1.进入室内的层流空气已经过高效过滤器滤过,达到无菌要求;
2.空气呈层流形式运动,使得室内所有悬浮粒子均在层流层中运动,则可避免悬浮粒子聚结成大粒子;
3.室内新产生的污染物能很快被层流空气带走,排到室外;
4.空气流速相对提高,使粒子在空气中悬浮,而不会积聚沉降下来,同时室内空气也不会出现滞留状态,可避免药物粉末交叉污染;
5.洁净空气没有涡流,灰尘或附着在灰尘上的细菌都不易向别处扩算转移,而只能就地被排除掉。层流可达到1万级,甚至100级。


本文共分 1

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